微振动主动隔振系统的研究综述

作者：易思成1,2,3,王金海3,刘志刚3,张泉1 日期：2021-05-20/span> 浏览：1266 查看PDF文档

微振动主动隔振系统的研究综述*
易思成1,2,3,王金海3,刘志刚3,张泉1,杨斌堂2*,孟光2
(1.上海大学 机电工程与自动化学院，上海 200444；2.上海交通大学 机械系统与振动国家重点实验室，
上海 200240；3.上海航天控制技术研究所，上海 201109)

摘要:为降低外界微米至纳米范围微振动干扰对精密装置的影响，并提高精密装置的运行精度，研制了微振动隔振平台，并将振动主动控制技术应用于隔振系统中。在明确了微振动定义的基础上，阐述了精密仪器所允许的振源速度标准；基于隔振理论，总结了单自由度和多自由度微振动隔振系统的结构特点；在此基础上，对主动隔振系统中的驱动器进行了总结；考虑到系统的动力学和驱动特性，对结构和驱动器的建模方法进行了论述；基于隔振率、隔振稳定性等指标，对反馈、前馈、复合和新型振动主动控制方法进行了评价；通过对传感驱动一体化、振动能量回收、智能控制技术的分析，预测了微振动主动隔振系统的未来发展趋势。研究成果表明：相比于被动隔振，主动隔振技术具有灵活、高效等优点，基于智能材料(如压电、磁致伸缩)的新型微振动隔振系统得到了广泛的应用，相应的迟滞建模和补偿控制成为了该领域的研究热点。
关键词:微振动；主动控制；智能材料；驱动器；系统建模；迟滞
中图分类号:TH707；TH113.1；TB535.1     文献标识码:A     文章编号:1001-4551(2021)03-0265-11

本文引用格式:
易思成,王金海,刘志刚,等.微振动主动隔振系统的研究综述［J］.机电工程,2021,38(3):265-275.
YI Si-cheng, WANG Jin-hai, LIU Zhi-gang, et al. Review of active micro vibration isolation system［J］.Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2021,38(3):265-275.《机电工程》杂志:http://www.meem.com.cn