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基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统
作者：郑凌云 应济 日期：2006-08-29/span> 浏览：3730 查看PDF文档
基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统
郑凌云 应济
（浙江大学 机械工程系，浙江 杭州 310027）
摘要：热控制已成为集成电路设计中需要解决的关键问题。随着特征尺寸以及封装密度的增加，目前的封装冷却技术将很快不能适应。尽管大量基于MEMS的冷却方法已经被建议去解决集成电路的冷却，然而许多还未实用化。两相微介电液滴冲击冷却是一种很有发展潜力用于集成芯片冷却的方法。阵列式的微喷射能够保证达到一致的芯片温度以及高热流交换效率。用于液体输送的静电驱动薄膜振动微泵与集成电路技术兼容，而且易实现微型化和阵列化。本文介绍基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统的原理并提出相应的实验平台。
关键词：微系统；微液滴冲击；冷却
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