基于二维光学相干层析的多层薄膜 结构无损定量评价

作者：陈丹阳1，童俊海2，钟舜聪 日期：2017-10-16/span> 浏览：2516 查看PDF文档

基于二维光学相干层析的多层薄膜结构无损定量评价
陈丹阳1，童俊海2，钟舜聪2，3*，张秋坤2，林杰文2，伏喜斌4
(1.漳州职业技术学院 电子工程系，福建 漳州 363000；
2.福州大学 机械工程及自动化学院光学/太赫兹及无损检测实验室，福建 福州 350108；
3.福建省医疗器械和生物技术重点实验室，福建 福州 350000；4.厦门市特种设备检验检测院，福建 厦门 361000)

摘要：为了实现对多层薄膜结构厚度进行快速准确的测量和无损定量评价，研制了二维光学相干层析(Optical Coherence Tomography, OCT)系统，避免了传统一维OCT系统逐点扫描导致成像效率低下的问题。阐述了去除OCT共轭镜像理论，采用了五步相移干涉法，具体由压电驱动器驱动参考镜实现，做到了对OCT共轭镜像的去除，避免出现OCT图像的混叠。所研制的OCT系统具有极高的系统分辨率和较好的信噪比，可以实现对手机钢化玻璃薄膜内部四层结构厚度（钢化玻璃、静电胶层1、防爆贴膜和静电胶层2）进行准确测量。实验结果表明：自研制的系统可快速高精度地对多层薄膜结构厚度进行测量，可以推荐使用在多层薄膜的无损定量评价中。

关键词：干涉条纹；光学相干层析；多层薄膜结构；厚度测量

中图分类号：TH74               文献标志码：A                   文章编号：1001-4551(2017)08-0847-04

本文引用格式：
陈丹阳，童俊海，钟舜聪,等.基于二维光学相干层析的多层薄膜结构无损定量评价［J］.机电工程，2017，34(8)：847-850.
CHEN Dan yang, TONG Jun hai, ZHONG Shun cong, et al. Quantitative nondestructive evaluation of multilayer thin films based on two dimensional optical coherence tomography［J］.Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2017,34(8):847-850.
《机电工程》杂志：http://www.meem.com.cn